FFU潔凈空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理過程
FFU潔凈空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理過程。室外新風(fēng)W經(jīng)新風(fēng)機組凈化、降溫、減濕、再熱處理后送入頂棚。為使?jié)崈羰业臏貪穸瓤刂频酶椒�(wěn)，通常將處理后的新風(fēng)調(diào)整到潔凈室的要求狀態(tài)N，由DDC(Direct Digital Control)實現(xiàn)凈化新風(fēng)的精確控制。由于新風(fēng)機組采用了噴淋潔凈水的噴淋段和再熱段，所以L點應(yīng)是新風(fēng)機器露點，位于N點的垂直下方。經(jīng)過安裝在回風(fēng)道上的FFU處理后的H狀態(tài)回風(fēng)在頂棚內(nèi)與經(jīng)過新風(fēng)機組處理的新風(fēng)混合，形成O狀態(tài)的送風(fēng)，再由FFU加壓過濾送入潔凈室內(nèi)。送入室內(nèi)的潔凈空氣吸收顯熱后變?yōu)槭覂?nèi)狀態(tài)N，一部分由工藝設(shè)備的排風(fēng)裝置排到室外，另一部分再經(jīng)FFU處理后回用。
FFU系統(tǒng)與其他方式相比有以下幾個優(yōu)點：
1、靈活性大，滿布率高 對IC工廠而言潔凈系統(tǒng)的靈活性是很重要的。如果車間內(nèi)潔凈度隨工藝變化而需要區(qū)域性調(diào)整時，可通過改變FFU風(fēng)量或置換盲板來改變局部地區(qū)的潔凈度。當(dāng)密集布滿時，布滿率可達85.5%。
2、FFU上部頂棚為負壓，可起負壓密封作用頂棚內(nèi)呈負壓，潔凈度內(nèi)空氣壓力大于頂棚內(nèi)空間的壓力。如果FFU與支架密封處有縫隙，負壓使得未經(jīng)高效過濾器的空氣不能進入室內(nèi)，對保證潔凈室的潔凈度有利。
3、風(fēng)系統(tǒng)阻力小，出風(fēng)口風(fēng)速低FFU的迎風(fēng)面積較大，空氣流動阻力在50Pa左右;回風(fēng)道截面積亦大，回風(fēng)道阻力在15Pa以內(nèi);多孔地板及隔柵等的阻力較小。回風(fēng)全部阻力(包括多孔地板、隔柵風(fēng)道)、FFU阻力及末級過濾器的阻力，總和在250Pa以內(nèi)。FFU出口風(fēng)速一般為0.38~0.45m/s。
4、單位風(fēng)量能耗低 采用FFU后不需要再增設(shè)加壓風(fēng)機，不需專設(shè)機房，同時避免了送風(fēng)管路的阻力。當(dāng)FFU采用DC/EC(電子整流)電動機時，電動機的效率可達 75%~80%，每臺可根據(jù)過濾器壓降進行調(diào)速控制以節(jié)約能耗。所以單位風(fēng)量的能耗一般比大型離心風(fēng)機的集中系統(tǒng)低。
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